日本標準在線式薄膜測厚儀的檢測方法及標準

隨著科技的進步和精密儀器的應(yīng)用，薄膜厚度的測量方法有很多，按照測量的方式分可以分為兩類：直接測量和間接測量。直接測量指應(yīng)用測量儀器，通過接觸（或光接觸）直接感應(yīng)出薄膜的厚度，常見的直接法測量有：螺旋測微法、精密輪廓掃描法（臺階法）、掃描電子顯微法（SEM）；間接測量指根據(jù)一定對應(yīng)的物理關(guān)系，將相關(guān)的物理量經(jīng)過計算轉(zhuǎn)化為薄膜的厚度，從而達到測量薄膜厚度的目的。常見的間接法測量有：稱量法、電容法、電阻法、等厚干涉法、變角干涉法、橢圓偏振法。按照測量的原理可分為三類：稱量法、電學(xué)法、光學(xué)法。常見的稱量法有：天平法、石英法、原子數(shù)測定法；常見的電學(xué)法有：電阻法、電容法、渦流法；常見的光學(xué)方法有：等厚干涉法、變角干涉法、光吸收法、橢圓偏振法。

薄膜測試儀連續(xù)測厚機FT-A200 / FT-A200R

配備高精度測量頭和放大器單元的機器。
只需設(shè)置從生產(chǎn)線切出的薄膜，即可輕松連續(xù)測量厚度。

FT-A200 測量范圍 / 10 μm 至 200 μm
FT-A200R 測量范圍 / 3 μm 至 100 μm
測量分辨率/ 0.01 μm