Profilm3D 3D表面形狀測量系統(tǒng)的測量示例

測量示例

 

粗糙度測量

測量硅襯底上的粗糙度?？梢詼y量符合 ISO 的線粗糙度 (R) 和表面粗糙度 (S)。

 

不均勻形狀的測量

測量銅基板上納米級(jí)的不均勻性?？梢砸淮螠y量1平方毫米區(qū)域內(nèi)納米級(jí)的不均勻形狀。

鏡片形狀

測量鏡片的形狀。您可以高精度地觀察所表達(dá)的形狀。

步進(jìn)測量

測量雙焦鏡片的水平差。

它是一個(gè)使用白光干涉技術(shù)的系統(tǒng)，可以非接觸測量包括臺(tái)階和粗糙度在內(nèi)的三維形狀。

Profilm 3D 適用于測量小樣本，涵蓋了測量 3D 形狀所需的所有功能，并且比傳統(tǒng)產(chǎn)品更緊湊、更便宜。
多種測量模式，包括垂直掃描干涉法 (WLI)，適合微米級(jí)臺(tái)階和形狀的高精度測量，相移干涉法 (PSI)，適合測量納米級(jí)形狀和粗糙度。包括標(biāo)準(zhǔn)步驟樣品在內(nèi)的一切都是標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備，包括用于放大物鏡、自動(dòng)載物臺(tái)以及便于操作和分析和管理測量數(shù)據(jù)的軟件。

主要用途