日本芝浦機電shibaura皮拉尼真空壓力表GPW系列
該產(chǎn)品是皮拉尼壓力表,可以測量從大氣壓到5×10 -2 Pa的很大范圍。
此外,該真空計的操作和顯示已從常規(guī)控制器上刪除,并且功能已縮小到必要的低限度,從而可以“降低成本"和“節(jié)省空間"。
廣域測量:可以從大氣壓到5×10 -2 Pa進行廣域測量。
省線:通過集成傳感器和控制器實現(xiàn)省線,節(jié)省空間和省電
可見度更高:配備可確認異常的LED
一鍵式調(diào)節(jié):一鍵式可調(diào)節(jié)大氣壓和零點
可維護性:易于更換探頭
燈絲材料/鉑(Pt):燈絲材料使用具有高耐腐蝕性的鉑。
測量值輸出信號:壓力為0?10V對數(shù)輸出標準設備
改善的抗沖擊性:設計具有高抗沖擊性
控制輸出信號:可輸出2個設定點(GPW-1)
串行通訊規(guī)格:可以進行RS-232C / RS-485通訊(僅GPW-2)
符合標準:符合CE標準
用于各種制造設備(例如太陽能電池,F(xiàn)PD,半導體和電子零件)的低真空區(qū)域中的過程控制
用于各種工業(yè)設備(例如熔爐)的低真空區(qū)域中的過程控制
用于具有多個處理腔室的各種制造設備的低真空區(qū)域中的過程控制,例如在線型和單晶片型
日本芝浦機電shibaura皮拉尼真空壓力表GPW系列
模型 | GPW-1 | GPW-2 | |
---|---|---|---|
可連接探針 | 之一 | ||
自適應探頭 | SWP-16(NW-16) | ||
測量壓力范圍 | 5.0×10 -2?1.0 ×10 5帕 | ||
測量精度* | 1×10 -1至1××10 4 Pa:±10% 5.0×10 -2至1.0×10 -1 Pa,1×10 4 Pa至1×10 5 Pa:±20% | ||
重復性 | 1 x 10 -1 Pa至1 x 10 4 Pa:±2% | ||
采樣時間 | 50毫秒5次移動平均處理 | ||
測量值輸出 | 輸出電壓DC 0?10 V | ||
壓力指示(對數(shù)輸出)1.7 V?8.0 V,1 V /位 | |||
更新時間 | 50毫秒 | ||
控制輸入信號 | 集電極開路輸入,負邏輯 ADJ調(diào)整(零點調(diào)整,大氣壓調(diào)整) | -- | |
控制輸出信號 | 集電極開路輸出 負邏輯[額定值:30 VMAX,50 mAMAX,70 mW] 錯誤信號 設定點1、2 | -- | |
監(jiān)控設定點 | 設定點1,2:0至10 V日志輸出 | -- | |
串行通訊規(guī)格 | -- | RS232C / RS485 | |
LED顯示屏 | 電源/錯誤:電源和錯誤指示燈 | ||
SET-1:設定值1 LED SET-2:設定值2 LED | -- | ||
燈絲材料 | 鉑 | ||
工作溫度極限 | 10-40°攝氏度 | ||
工作濕度范圍 | 15至80%(但無凝結(jié)) | ||
IP防護等級 | IP30(傳感器單元) | ||
安裝姿勢 | 沒有限制 | ||
電源電壓 | DC 18 V?30 V,2 W(開機時4.8 W) | ||
I / O連接器 | D-sub15針(M2.6螺釘) | ||
大眾 | 150克(含SWP-16) | ||
外形尺寸(電源部分)W xD x H(毫米) | 70 x 46 x 28 | ||
符合標準 | CE認證 |
*大氣壓調(diào)整和零點調(diào)整后的精度。
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