日本富士電動蝶閥
日本富士電動蝶閥
壽命長，價格低，性能高，可進行各種開閉操作的蝶閥。
- 壽命長一百萬次
- 價格低廉自動壓力控制可以低價進行。
- 高性能高性能伺服電機，伺服放大器，采用新的驅(qū)動機制
- 可以實現(xiàn)高性能的泄漏規(guī)格（*注1），多級位置控制和自動壓力控制。
還可以通過閥門O形圈來支持擰緊余量O規(guī)格，從而實現(xiàn)小的電導。 - 它的小直徑為20A NW25。（也可提供20A NW25尺寸的O形圈，可以將其*閉合。）
特征
- 低成本閥門MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列是于傳導控制的電動蝶閥，沒有閥體O形圈。
- 三菱電機制造的多功能伺服電動機用作閥體的驅(qū)動源，并且可以將閥體停止并保持在任何其他位置，例如*關閉或*打開。
- 閥門的開口面積可以分多個階段進行更改，可用于多種用途，例如在真空容器內(nèi)保持恒定壓力，改變閥門前后的壓力以及改變排氣導度。
- 可以使用計算機軟件或伺服放大器本身預先設置中間停止位置，多可以存儲13個位置。
- 通過從PLC等主機系統(tǒng)發(fā)送信號，它將以良好的再現(xiàn)性停在設定位置。
- 通過將可選的雙重自動壓力控制系統(tǒng)控制器與FPC系列相結(jié)合，可以進行包括自動壓力控制在內(nèi)的各種控制。
MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列的主要規(guī)格
| 法蘭類型 | JIS / ISO / CF / NW |
|---|---|
| 泄漏量 | 1 x 10 -9 Pa·m 3 / s以下 |
| 使用面積 | 10 5 至10 -6 Pa |
| 盤式密封 | 沒有 |
| 軸封 | 拜頓O型圈2個步驟 |
| 直徑 | 20A-100A |
|---|---|
| 電源規(guī)格 | 主電源AC200V（額定電流1.5A） 控制電源AC200V（額定電流0.2A） 接口電源DC24V（大500mA） |
| 控制方式 | 交流伺服方式 |
| 氣體接觸材料 | SUS304 |
*本規(guī)格如有更改，恕不另行通知。
本頁面的內(nèi)容
- 系統(tǒng)配置
- 附伺服放大器尺寸圖
- 關于非標準電機支持
- MBV-JISSDⅡ-M4系列尺寸圖
- MBV-ISOSDⅡ-M4系列尺寸圖
- MBV-CFSDⅡ-M4系列尺寸圖
- MBV-NWSDⅡ-M4系列尺寸圖
系統(tǒng)配置
*除閥單元（閥體，伺服電機，伺服放大器）中包含的組件外，它是一個選件。
*有關可選項目，請參閱隨附的“多位置選項列表”。
*注）1.泄漏規(guī)格（無閥體密封機構(gòu)）
附伺服放大器尺寸圖
關于非標準電機支持
我們還將向您咨詢有關更換適合您設備使用環(huán)境的電機（例如標準電機以外的伺服電機）的信息。
*也可以通過連接可選的雙壓力控制控制器用作APC。
MBV-JISSDⅡ-M4系列尺寸圖
| 單位：毫米 | |||||
| 模型 | MBV-1SDⅡ-M4-ARJ | MBV-2SDⅡ-M4-ARJ | MBV-2.5SDⅡ-M4-ARJ | MBV-3SDⅡ-M4-ARJ | MBV-4SDⅡ-M4-ARJ |
| 產(chǎn)品代碼 | 10805□□ | 10807□□ | 10808□□ | 10809□□ | 10810□□ |
| 一種 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 |
| 乙 | 34 | 52 | 68 | 81 | 104 |
| C | 58 | 88 | 105 | 120 | 145 |
| d | 90 | 120 | 145 | 160 | 185 |
| n—E | 4-φ10 | 4-φ10 | 4-φ12 | 4-φ12 | 8-φ12 |
| F | 70 | 100 | 120 | 135 | 160 |
| G | 33 | 52 | 67 | 80 | 102 |
| H | 222.5 | 253 | 278.5 | 292.5 | 318 |
| ? | 102.5 | 117.5 | 130 | 137.5 | 150 |
| ? | 43 | 58.5 | 71.5 | 78 78 | 91 |
| 大號 | 90 | 90 | 90 | 90 | 102 |
| P | 40 | 70 | 85 | 100 | 120 |
| V | V40 | V70 | V85 | V100 | V120 |
注1.以上是符合JIS B2290真空裝置法蘭附件維護法蘭的法蘭。
MBV-ISOSDⅡ-M4系列尺寸圖
| 單位：毫米 | |||||
| 模型 | MBV-ISO40SDⅡ-M4-ARJ | MBV-ISO50SDⅡ-M4-ARJ | MBV-ISO63SDⅡ-M4-ARJ | MBV-ISO80SDⅡ-M4-ARJ | MBV-ISO100SDⅡ-M4-ARJ |
| 產(chǎn)品代碼 | 10865□□ | 10866□□ | 10867□□ | 10867□□ | 10868□□ |
| 一種 | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 |
| 乙 | 34 | 52 | 68 | 81 | 104 |
| C | 100 | 110 | 130 | 145 | 165 |
| d | 120 | 120 | 145 | 160 | 185 |
| n—E | 4-φ9 | 4-φ9 | 4-φ9 | 8-φ9 | 8-φ9 |
| F | 80 | 90 | 110 | 125 | 145 |
| G | 二十三 | 47 | 62 | 76 | 100 |
| H | 253 | 253 | 278.5 | 292.5 | 318 |
| ? | 117.5 | 117.5 | 130 | 137.5 | 150 |
| ? | 58.5 | 58.5 | 71.5 | 78 78 | 91 |
| 大號 | 90 | 90 | 90 | 90 | 102 |
注1.以上是符合ISO1609真空技術-法蘭尺寸的法蘭。
MBV-CFSDⅡ-M4系列尺寸圖
| 單位：毫米 | ||||
| 模型 | MBV-CF40SDⅡ-M4-ARJ | MBV-CF40SDⅡ-M4-ARJ | MBV-CF63SDⅡ-M4-ARJ | MBV-CF100SDⅡ-M4-ARJ |
| 產(chǎn)品代碼 | 10840□□ | 10840□□ | 10842□□ | 10844□□ |
| 一種 | 30 | 30 | 30 | 30 |
| 乙 | 二十三 | 34 | 52 | 104 |
| C | 69.4 | 69.4 | 113.5 | 151.6 |
| d | 80 | 90 | 120 | 185 |
| n—E | 6-M6 | 6-M6 | 8-M8 | 16-M8 |
| F | 58.7 | 58.7 | 92.1 | 130.2 |
| G | 0 | 二十三 | 47 | 100 |
| H | 212.5 | 222.5 | 253 | 318 |
| ? | 97.5 | 102.5 | 117.5 | 150 |
| ? | 38 | 43 | 58.5 | 91 |
| 大號 | 90 | 90 | 90 | 102 |
注1.以上是符合ISO / TS3669-2真空技術的法蘭-耐用法蘭-第2部分：刀口法蘭的尺寸。
注2. CF40沒有檢漏槽。
MBV-NWSDⅡ-M4系列尺寸圖
| 單位：毫米 | ||||||
| 模型 | MBV-NW25SDⅡ-M4-ARJ | MBV-NW40SDⅡ-M4-ARJ | MBV-NW50SDⅡ-M4-ARJ | MBV-NW63SDⅡ-M4-ARJ | MBV-NW80SDⅡ-M4-ARJ | MBV-NW100SDⅡ-M4-ARJ |
| 產(chǎn)品代碼 | 10822□□ | 10824□□ | 10825□□ | 10826□□ | 10827□□ | 10828□□ |
| 一種 | 40 | 40 | 40 | 40 | 60 | 60 |
| 乙 | 二十三 | 34 | 52 | 68 | 81 | 104 |
| d | 40 | 55 | 75 | 87 | 114 | 134 |
| G | 0 | 0 | 36 | 56 | 55 | 84 |
| H | 212.5 | 222.5 | 253 | 278.5 | 292.5 | 318 |
| ? | 97.5 | 102.5 | 117.5 | 130 | 137.5 | 150 |
| ? | 38 | 43 | 58.5 | 71.5 | 78 78 | 91 |
| 大號 | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 | 102 |
注1.對于NW25尺寸，可以使用可以*閉合的*閉合類型。
注意2.請使用我們的多夾鉗進行安裝。如果您使用我們公司以外的其他夾具，則根據(jù)夾具的形狀，可能未安裝閥門。
M4-ARJ通用選項
* MBV-ADⅡ-M4-ARJ / MBV-LDⅡ-M4-ARJ / MBV-SDⅡ-M4-ARJ通用選項設置伺服放大器上的位置并將閥閥體操作到任何位置。
1. 1。ENC電纜（負載抽屜/抗負載抽屜）（注1）
用于連接閥和伺服放大器的電纜。
格式 長（L） ENC電纜（負載側(cè)）2m_4123500 2m ENC電纜（負載側(cè)）5m_4123501 5m ENC電纜（負載側(cè)）10m_4123502 10m ENC電纜（非負載側(cè)）2m_4123505 2m ENC電纜（非負載側(cè)）5m_4123506 5m ENC電纜（非負載側(cè)）10m_4123507 10m 
注意1.（裝載抽屜/防裝載抽屜）
2。MOT電源線（負載抽屜/抗負載抽屜）（注1）
用于連接閥和伺服放大器的電纜。
格式 長（L） MOT電纜（負載側(cè)）2m_4123520 2m MOT電纜（負載側(cè)）5m_4123521 5m MOT電纜（負載側(cè)）10m_4123522 10m MOT電纜（非負載側(cè)）2m_4123525 2m MOT電纜（非負載側(cè)）5m_4123526 5m MOT電纜（非負載側(cè)）10m_4123527 10m 
*不是屏蔽電纜。
3. 3。電磁制動電纜（負載抽屜/抗負載抽屜）（注1）
帶有電磁制動器的伺服電機電纜。
格式 長（L） BL電纜（負載側(cè)）2m_4123540 2m BL電纜（負載側(cè)）5m_4123541 5m BL電纜（負載側(cè)）10m_4123542 10m BL電纜（非負載側(cè)）2m_4123545 2m BL電纜（非負載側(cè)）5m_4123546 5m BL電纜（非負載側(cè)）10m_4123547 10m *不是屏蔽電纜。
4。-1 REMOTE I / FM電纜（CN1為50P）（注2）
用于遠程輸入/輸出到伺服放大器的電纜。
格式 長（L） 遠程I / FM電纜_4123340（1m） 1m 遠程I / FM電纜_4123341（2m） 2m 遠程I / FM電纜_4123342（3m） 3m 遠程I / FM電纜_4123343（4m） 4m 遠程I / FM電纜_4123344（5m） 5m 
4。-2 REMOTE中繼端子臺I / FM電纜（CN1為50P），中繼端子臺（MR-TB50）（注2）
繼電器電纜和端子塊，用于遠程輸入/輸出到伺服放大器。
格式 長（L） MR-J2M-CN1 TBL05M_4123350 0.5米 MR-J2M-CN1 TBL1M_4123351 1m 繼電器接線盒MR-TB50_4123352（50P） 
伺服放大器連接器中繼端子連接器
繼電器接線端子50P
5，伺服支持軟件
用于設置伺服放大器上位置的軟件。
格式 語言 SW1 DNC-MRC2-J_4123560 日文版 SW1 DNC-MRC2-E_4123561 英文版 
6。通訊電纜
用于連接PC和伺服放大器的USB電纜。
格式 長（L） MR-J3USBCBL3M_4123562 3m 
伺服放大器mini-B連接器PC A連接器
注2）REMOTE I / FM電纜要求4-1或4-2。
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