日本shinkuu真空簡單的真空氣相沉積系統(tǒng)
日本shinkuu真空簡單的真空氣相沉積系統(tǒng)
通過在外殼中內(nèi)置TMP來實現(xiàn)緊湊的外殼。由于它是臺式機(jī)類型，因此不會占用空間。RP被放置在地板上。
我們以低價提供帶有小TMP + RP排氣系統(tǒng)的清潔，高真空氣相沉積設(shè)備。一個簡單的操作系統(tǒng)，消除了復(fù)雜的排氣操作，僅打開和關(guān)閉開關(guān)。
可以使用鎢筐沉積金，鋁，鉻，銀等。對于碳?xì)庀喑练e，使用了一種鉗式氣相沉積槍型，它會隨著碳的蒸發(fā)而蒸發(fā)鋒利的鉛筆型替換芯。（不能使用Φ5mm碳棒。）
購買時，我們將選擇碳?xì)庀喑练e電極或金屬氣相沉積電極?？梢赃x擇購買其他電極。
碳蒸鍍電極
Φ0.5mm碳蒸鍍電極，僅用于碳。
它能夠在高真真空區(qū)中沉積碳，并且可以形成具有優(yōu)異膜質(zhì)量和膜強(qiáng)度的碳膜。
附帶的防污蓋可醉大程度地減少碳蒸氣沉積的擴(kuò)散范圍，并減少清潔負(fù)擔(dān)。
建議使用碳SLC-30作為碳?xì)庀喑练e源。
金屬氣相
沉積電極這是專門用于鎢筐的金屬氣相沉積電極。
可以輕松地沉積金，鋁，鉻等。隨附的防污罩可醉大程度地減少氣相沉積范圍，并減少清潔負(fù)擔(dān)。
主要產(chǎn)品規(guī)格
| 項目 | 規(guī)范 |
| 電源 | AC100V（單相100V15A） |
| 裝置尺寸 | 寬400毫米，深425毫米，高546毫米 （設(shè)備重量25千克） |
| 旋轉(zhuǎn)泵（外部） | 排氣速度50?/ min（G-50DA） （重量11kg） |
| 渦輪泵（內(nèi)置裝置） | 排氣速度67?/秒 |
| 樣品臺 | 直徑72毫米 |
| 沉積源-樣品臺間距 | 可在0毫米至140毫米范圍內(nèi)調(diào)節(jié) |
關(guān)于選項
2018.11.01
選配
對于氣相沉積設(shè)備，我們?yōu)楦鞣N實驗應(yīng)用提供大量選擇。此選項是一個正常的示例。我們也接受根據(jù)客戶所需規(guī)格的修改，因此請與我們聯(lián)系。VE-2012 ...
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