日本kakenjse大日本科研實驗/研究曝光設(shè)備
MA-1200A
手動批量曝光機(jī)是高混合,小批量生產(chǎn),實驗和研究的理想選擇,并且可以實現(xiàn)穩(wěn)定的自動間隙控制。
MA-1200 | MA-1400 | |||
面板尺寸 | 大200 x 200mmø4“?ø6” | 高達(dá)400 x 400mm | ||
光源 | 超高壓汞燈:500W或1kW | 超高壓汞燈:2kW或3.5kW | ||
尺寸及重量 | 車身尺寸 | 寬12x深1100 x高1725毫米 | 寬1440 x深1590 x高1882毫米 | |
體重 | 400公斤 | 400kg(包括干凈的圍欄) | ||
光源重量 | -- | 250公斤 | ||
選項 | 支持特殊的工作尺寸,例如干凈的圍欄,背面對齊,硬接觸(真空緊密接觸類型),自動對齊,基材破裂(需要咨詢) |
*我們接受有關(guān)板子尺寸,水銀燈瓦數(shù)和特殊規(guī)格的咨詢。
MA-1200A | |||
晶圓尺寸 | ø2“?ø6” | ||
光源 | 超高壓汞燈:500W或1kW | ||
尺寸及重量 | 車身尺寸 | 寬850 x深1150 x高1665毫米 | |
重量 | 400公斤 | ||
選項 | 背面對齊,自動對齊,板破裂,條形碼讀取器和LOG存儲支持(需要咨詢) |
日本kakenjse大日本科研實驗/研究曝光設(shè)備
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